我国高精尖企业华卓精科在2021年9月发布的公告中就提到:“公司 DWS 系列光刻机双工件台可实现优于 4.5nm 的运动平均偏差，已于 2020 年 4 月和 2021 年 1 月、4 月、6 月分别 向上海微电子发货 1 台 DWS 双工件台，累计发货 4 台 DWS 双工件台;
千呼万唤始出来，国产光刻机终于造出来了。众所周知，“光刻机”是半导体产业链当中难度最高的一环，如果把造芯片比作造房子，光刻机的功能就是精准把每一块砖砌在对应的位置，可问题是，很多芯片都没有指甲盖大，要在这么小的地基上把零部件的位置精准到纳米级，无异于是徒手登天，光刻机研发生产的难度太大了，但没有光刻机就无法实现芯片量产，到目前为止，全球八成以上的光刻机市场全被荷兰阿斯麦这家公司垄断，正因为如此，这两年，阿斯麦成了美国在半导体上卡我们“脖子”的主要发力点。
