来自荷兰的ASML,由一家小公司,逐步成长壮大,超过日本两大光刻机巨头尼康和佳能,成了全球光刻机领域的最大巨头,并且还独家垄断了最为先进的EUV光刻机。全球各地的晶圆制造厂都要依赖ASML的中高端光刻机,这确实足以让ASML傲气十足。
光刻机到目前为止,共经历了五代发展,从最早的第一代436波长,再到第二代光刻机开始使用波长 365nm i-line,第三代则是 248nm 的 KrF 激光,第四代就是 193nm 波长的 DUV 激光,这就是 ArF 准分子激光。
视频请见下面链接:封锁、逆境、曙光:国产光刻机的艰难往事【揭秘世界28】面对今天的困境,人们可能很难想象,中国不仅曾经独立研发出光刻机,把与美国的差距缩短到只有7年,而且还是在国外对我们封锁禁运的情况下完成的。