编者按:工业和信息化部发布的《首台重大技术装备推广应用指导目录》中,赫然列入了国产氟化氪光刻机和氟化氩光刻机,这一消息迅速引发关注,将国产光刻机技术推至聚光灯下,65nm,这串数字背后蕴藏着怎样的突破?