2024年第一天,ASML的官方宣布了一条消息,取消了两款许可。据悉,2022年中国大陆从ASML进口的光刻机金额已经超过2000亿元,其中有超过千亿的部分交付完毕,其余的600亿左右的订单在交付完成后,中国成为ASML优先交付订单的市场。
而美国为了自身的利益则企图利用我国在光刻机上的对外依赖来打“台湾牌”,根据彭博社2024年5月的报道,荷兰光刻机制造巨头ASML曾经承诺“如果中国大陆武统台湾,那么ASML随时可以远程瘫痪向中国出售的EUV光刻机。
如下图所示,这是光刻机类型,对应的芯片工艺。至于5nm芯片之后,那就必须使用EUV这种极紫外线光刻机了,用DUV光刻机已经制造不出来了,因为DUV光刻机的光线波长经水折射也也毕竟有134nm,波长太长,分辨率不够。