随后，Northrop Grumman 收购支持 EUV LLC 光源工作的 TRW，并最终将其 EUV 相关 IP 捐赠给中佛罗里达大学。尼康在 EPL 上的投入未能达到与 EUV 竞争所需的吞吐量，于 2005 年停止了 EPL 的商业化努力。
声明：本文内容均引用权威资料结合个人观点进行撰写，文末已标注文献来源及截图，请知悉。都说荷兰人垄断了光刻机业务，然而回到40年前，那时候的ASML，却是在一群意志消沉的人的抱怨声里开启的。时至今日业内人士都觉得，ASML当年遇到的天时地利人和的时刻。
