「放电等离子体极紫外光刻光源」由哈尔滨工业大学航太学院的赵永鹏教授（左2）研发。中国哈尔滨工业大学日前在官方新闻网宣布，「放电等离子体极紫外光刻光源」两个项目获得获黑龙江省高校和科研院所职工科技创新成果转化大赛一等奖。也就是被誉为「曝光机心脏」的极紫外（EUV）光源技术有了突破。
近日，哈工大航天学院赵永蓬教授带领的团队，凭借“放电等离子体极紫外光刻光源”项目，成功攻克了13.5纳米极紫外光源技术，在黑龙江省高校与科研院所职工科技创新成果转化大赛中荣获一等奖，这一重大突破犹如一声惊雷，震撼了全球半导体领域。
文|娱栀编辑|娱栀声明：本文内容均有权威信源，结合个人观点撰写，相关信源在文章结尾和文中截图前言：随着科技不断进步，全球对高精度芯片制造的需求日益增加，极紫外光刻技术作为关键技术，已成为全球科技竞争的焦点。
