工业和信息化部印发《首台重大技术装备推广应用指导目录》，其中特别强调了“集成电路生产装备”部分，明确列入了氟化氪光刻机与氟化氩光刻机两款关键设备，其中氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度，能够支持28纳米工艺芯片的量产。
中国光刻机在近年来取得了显著的进展，2022年中国光刻机市场规模为147.82亿元，2023年中国光刻机产量达124台，市场规模已突破160.87亿元。市场现状需求与供给：国内对光刻机的需求大于国产供给，2022年产量为95台，而需求量约为652台。
#头条深一度#2025年的芯片行业正处在一场前所未有的风暴中。降价40%的中国28纳米芯片成了全球芯片企业最头疼的问题。为什么中国会选择降价？这场价格战究竟在改变什么？芯片行业的竞争从来没有停止过，但今天的争斗已然变成了全面战争。
