在芯片制造的世界里，有一个“大块头”一直是中国科技界的心头痛，它就是光刻机，被誉为“芯片之母”。根据工信部宣布，国产氟化氩光刻机已经问世，这似乎意味着我们终于可以摆脱“卡脖子”的困境了，但事情似乎没那么简单，国产光刻机真的能与ASML的一较高下吗?
光刻机到目前为止，共经历了五代发展，从最早的第一代436波长，再到第二代光刻机开始使用波长 365nm i-line，第三代则是 248nm 的 KrF 激光，第四代就是 193nm 波长的 DUV 激光，这就是 ArF 准分子激光。
