专利申请总数截至 2019 年 6 月就有 3034 项,授权的也有 1654 项。虽说和 ASML 比,在制程精度和研发时间上还有差距,人家 ASML 都能生产 5nm 及以下制程节点的 EUV 光刻机了,上海微电子目前才做到 90nm 芯片量产。
仅仅有光刻机是不行的,还需要摸索一套与之对应的成熟流程工艺。可我们现在连高端光刻机都没有……😔撇开一切不说,让这样的设备,全中国唯一的一台7nm ASML EUV光刻机放在银行的仓库里吃灰,是不是太可惜了?是不是还不如拿出来进行芯片生产技术的试验?是没有用吗?