界面新闻记者 | 李昊界面新闻编辑 | 9月13日，蓝英装备（300293.SZ）股价走强，尾盘忽然出现大单买入并封死涨停板。过去6个交易日（9月6日-9月13日）中，公司股价有三个交易日斩获20CM涨停，累计涨幅高达96.31%。同日晚，蓝英装备发布股票交易严重异常波动公告。
光刻机概念持续受到热捧，蓝英装备(300293)股价近期股价大涨。9月12日，深交所向蓝英装备发出关注函，要求该公司补充说明用于光刻机行业产品在核心客户供应链体系中的具体定位和价值占比，并进一步分析说明上述产品对公司业绩是否具有重大影响。
【蓝英装备回复关注函：公司提供清洗设备和解决方案 不直接参与其相关设备的生产制造】财联社9月20日电，蓝英装备回复关注函：公司可以用于光刻机相关行业的产品主要是基于相关适用清洗原理/技术的专用设备和解决方案。
当投资者还在学习光刻机概念股的含“光”量的时候，资金已经选择了用脚投票。9月14日，光刻机指数开盘跳水，盘中跌超4%，截至截稿下跌1.33%，21只权重股有18只下跌。其中，蓝英装备盘中一度大跌11%，最终收跌3.38%，报收于20.56元/股。
界面新闻记者｜刘相君7月18日，光刻机概念全线走强，蓝英装备（300293.SZ）回封20%涨停，东方嘉盛（002889.SZ）、京华激光（603607.SH）涨停，同飞股份（300990.SZ）、强力新材（300429.SZ）、广信材料（300537.
在光刻机整机制造领域，张江高科与上海电气是不可忽视的重要力量。上海微电子作为国内光刻机领域的领军企业，一直致力于半导体装备、泛半导体装备以及高端智能装备的研发、设计、制造、销售与技术服务，其在光刻机技术研发方面取得的进展，为我国半导体产业的自主可控发展提供了关键支撑。
7个交易日获得3个20cm涨停的光刻机公司蓝英装备，成为近期市场热点。9月13日，蓝英装备第3次发布股票交易严重异动公告，近期公司经营情况及内外部经营环境未发生重大变化。公司、控股股东和实控人不存在关于公司的应披露而未披露的重大事项，或处于筹划阶段的重大事项。
中新经纬9月12日电 12日，深交所向蓝英装备下发关注函，要求其对是否存在主动迎合市场热点炒作公司股价的情形等进行核查。关注函指出，9月5日至9月11日，蓝英装备股价持续上涨，累计涨幅达78.36%，期间两次触及股价异常波动情形。
光刻机板块盘中异动拉升，蓝英装备20CM涨停，广信材料、同益股份、东材科技、扬帆新材等快速跟涨。消息面上，全球光刻机巨头阿斯麦在周三公布的2023年年度报告中表示，半导体市场已经触底，目前已有复苏迹象。
21世纪经济报道记者 张赛男 上海报道 最近备受热议的中国光刻工厂的消息被官方证伪，资本对光刻机概念的关注还在持续。近期，在沪深投资者互动平台上，有关光刻机的提问涌向各家上市公司。与此同时，部分公司股价异动引发监管关注。
