在科技竞争日益激烈的今天，芯片产业作为信息技术的核心，一直是各国科技角力的焦点。近日，哈工大樊继壮教授带领的研发团队成功制备出了13.5nm的EUV光源，这一技术突破不仅打破了美西方在EUV光刻机领域的垄断地位，更为国产芯片产业链的自主化进程注入了强劲动力。
