科技浩瀚海洋中,每一次技术突破都像是一颗璀璨珍珠,让人们为之惊叹,我国工信部官方宣布,国内科研团队自主研发高端光刻机技术已经取得重大进展,这不仅是我国科技实力一个重要展示,更是推动半导体产业自主可控关键一步。
近年来,特别是2019年以来,荷兰政府等西方国家开始加强对向中国出口高端光刻机的限制。2021年1月,荷兰政府要求ASML停止向中国出口其最新的DUV光刻机。2024年,ASML被进一步限制,不得向中国发运NXT:2000i及以上分辨率的浸润式DUV光刻机。
表面等离子体 光刻的原理是当一束光射向介质 – 金属表面时, 金属表面的自由电子发生运动并产生表面感应电荷. 这些感应电荷在外加场的驱动下在表面不断振荡, 产生特殊的电磁波 , 随着离开物质表面距离的增大迅速衰减. 表面等离子体波的波长被极大地压缩,而压缩的比例取决于材料的电磁性质等参数. 因此, 利用表面等离子体波进行光刻时, 在极短的距离内 不受传统衍射极限的限制.
全世界不是中国,美国都做不出来,中国都没做出来,不可能永远做不出来,它是一个国家的整体实验的表现。整体实验比较差一百年、差五十年,因为它设计的很多很多的学科,很多很多的基础性的东西。美国打压我们要自主,并不意味着中国未来两年、三年做出的无纳米的光刻机的这件事情非常难。
我国投入巨资研发制造高端光刻机,会不会在接近荷兰ASML高端光刻机水平之时,美国又允许荷兰降价向中国销售了,我们会不买ASML的又好又便宜的产品吗?我们制造的高端光刻机没有市场,投入的资金岂不是打了水漂?这么多的资金做了空投,会不会影响我国对其他高科技领域的投入?
我国被美国限制进口ASML高端EUV光刻机,我们能不能不采用极紫外光源策略,采用其他材料或脑洞大开的超时代方案来弯道超车节省研制时间。类似于数码相机取代胶片相机这样的换代技术,喷气式发动机取代螺旋桨。我们普通人研究不了光刻机,但我们可以一起开脑洞做掉落牛顿头上的那个苹果!