XPS可以检测材料中有什么元素 (研究未知材料) ，确定这些元素处于什么化学态，分析每种元素 (价态) 含量是多少，通过XPS成像分析二维面内的元素分布和价态分布 (缺陷分析、表面污染检测，表面处理技术) ，深度分析元素及价态分布离子束刻蚀深度剖析和角分辨XPS研究元素随着三维深
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