ASML、Canon、Nikon 三大光刻机供应商占据了绝大多数市场份额，出货量稳步提升，从 2019 年的 359 台增长至 2023 年的 667台 ， CAGR 达 16.75% ， 其 中 ASML 出 货 量 增 长 较 为 明 显 ， 出 货 量 分 别 为229/258/309/345/449 台 ， 对 应 CAGR 为 18.33% ;
开源证券近日发布机械设备行业周报：科技自立打头阵，重视光刻机产业链国产化机遇。 以下为研究报告摘要： 光刻机：推动芯片晶体管尺寸微细化发展的核心设备光刻是芯片制造流程中极为重要、难度极高的关键步骤。光刻的过程就是光透过掩膜版成像在晶圆表面的光刻胶上，一片晶圆可曝光多达百个单元。
中国光刻机在近年来取得了显著的进展，2022年中国光刻机市场规模为147.82亿元，2023年中国光刻机产量达124台，市场规模已突破160.87亿元。市场现状需求与供给：国内对光刻机的需求大于国产供给，2022年产量为95台，而需求量约为652台。
