红网时刻新闻7月14日讯7月14日上午，中国电子科技集团公司第48研究所研发生产的第100台国产离子注入机发车运往客户，标志着国内首家离子注入机自研量产企业的诞生，也代表国产离子注入机已成功通过产业化考验。
新华社北京6月29日电 记者6月29日从中国电子科技集团有限公司获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（简称电科装备）已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。研发人员正在调试离子注入机离子注入机是芯片制造中的关键装备。
2023年9月15日，青岛四方思锐智能技术有限公司成功推出的国内首台能量达到8MeV的高能离子注入机交付到国内头部企业，而这也意味着国产集成电路核心制造装备实现了重大突破，不仅填补了国内空白，也打破了西方国家的技术封锁，开启了国产高能离子注入机的自主可控的新征程。
本报讯 （记者张文湘）12月18日，上海万业企业股份有限公司（以下简称“万业企业”）宣布，旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”），成功向一家新签集成电路战略客户交付一台超低温离子注入机，这是继向该客户交付首台低能大束流设备一个月后的又一重大进展，标志着凯世通在集成
中证网讯（王珞）第十一届中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会(CSEAC)日前举行。万业企业旗下离子注入机行业龙头企业上海凯世通半导体股份有限公司携核心产品、关键技术、解决方案重磅亮相此次展会，并与中国半导体行业专家学者、业界精英共话半导体产业链创新发展。
