表面等离子体 光刻的原理是当一束光射向介质 – 金属表面时， 金属表面的自由电子发生运动并产生表面感应电荷. 这些感应电荷在外加场的驱动下在表面不断振荡， 产生特殊的电磁波 ， 随着离开物质表面距离的增大迅速衰减. 表面等离子体波的波长被极大地压缩，而压缩的比例取决于材料的电磁性质等参数. 因此， 利用表面等离子体波进行光刻时， 在极短的距离内 不受传统衍射极限的限制.
东方大国最近大量购买光刻机，引起了不少困惑。东方大国近期购买了大量的光刻机，不少人都对此感到困惑，毕竟一直以来我们都认为光刻机是芯片生产的核心设备，东方大国的芯片产业虽然起步较晚，但是发展速度很快，现在已经逐渐跻身世界一流水平了，为什么还要购买这么多光刻机呢?
