在光刻机整机制造领域，张江高科与上海电气是不可忽视的重要力量。上海微电子作为国内光刻机领域的领军企业，一直致力于半导体装备、泛半导体装备以及高端智能装备的研发、设计、制造、销售与技术服务，其在光刻机技术研发方面取得的进展，为我国半导体产业的自主可控发展提供了关键支撑。
