每经记者：朱成祥 每经编辑：梁枭在第六届进博会开幕前夕，“光刻巨人”ASML（阿斯麦）于10月26日在上海张江举行展前沟通会。ASML全球副总裁、中国区总裁沈波接受了《每日经济新闻》记者在内的媒体群访。沈波首先讲述了ASML参展进博会的亮点。
比原子弹还难造，全世界目前只有两个国家掌握，光刻机为什么这么难造?随着我国的工业升级逐步推进，现在制造业“皇冠上的明珠”是越来越少了，到目前为止，中国已经攻克了很多技术，比如第五代战机的航空发动机、超大型盾构机。
表面等离子体 光刻的原理是当一束光射向介质 – 金属表面时， 金属表面的自由电子发生运动并产生表面感应电荷. 这些感应电荷在外加场的驱动下在表面不断振荡， 产生特殊的电磁波 ， 随着离开物质表面距离的增大迅速衰减. 表面等离子体波的波长被极大地压缩，而压缩的比例取决于材料的电磁性质等参数. 因此， 利用表面等离子体波进行光刻时， 在极短的距离内 不受传统衍射极限的限制.
