光刻机到目前为止,共经历了五代发展,从最早的第一代436波长,再到第二代光刻机开始使用波长 365nm i-line,第三代则是 248nm 的 KrF 激光,第四代就是 193nm 波长的 DUV 激光,这就是 ArF 准分子激光。
好嘞,今天我跟大家聊聊一个绝对能炸裂你眼球的话题,那就是——国产光刻机的成功交付!,光刻机可是芯片制造中的“心脏”,无论是手机、电脑,还是其他电子设备,它都在背后默默支持着,就像咱们吃饭,米饭是主食,但没有好汤好菜,怎么会有那么好的口感?