光刻机到目前为止，共经历了五代发展，从最早的第一代436波长，再到第二代光刻机开始使用波长 365nm i-line，第三代则是 248nm 的 KrF 激光，第四代就是 193nm 波长的 DUV 激光，这就是 ArF 准分子激光。
好嘞，今天我跟大家聊聊一个绝对能炸裂你眼球的话题，那就是——国产光刻机的成功交付!，光刻机可是芯片制造中的“心脏”，无论是手机、电脑，还是其他电子设备，它都在背后默默支持着，就像咱们吃饭，米饭是主食，但没有好汤好菜，怎么会有那么好的口感?
