【上海微电子“投影物镜光学系统及光刻机”专利公开】财联社11月28日电，上海微电子装备（集团）股份有限公司今日公开了其最新的光刻机相关专利。据天眼查显示，上海微电子公开的专利名为“投影物镜光学系统及光刻机”。
