国产极紫外光刻机光源
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哈工大新型极紫外线光源，EUV光刻机的核心部件 #哈工大
雷哥聊工业
07:18
越打压越强大，哈工大突破13.5nm极紫外光源，国产光刻机大进展
木南说
问答
中国研制出世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机，在世界上属于什么水平？
11月29日，中科院光电技术研究所宣布，其承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。这是世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机。
头条问答
中科院光刻机用365nm光源?单次曝光可以做到22nm,可以光刻10nm芯片吗？
如何理解？
章家瑛
光刻机光源中的极紫外光可以用于军事武器制导吗？在光刻机中，极紫外光比激光更难？
头条问答
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