20世纪 70 年代开始，能源危机的加剧和高精度数控机床的出现,为涡旋机械的发展带来了机遇,1973 年美国 Arthur D. Little公司首次提出了涡旋氮气压缩 机的研究报告，展现出涡旋压缩机所具有其他压缩机无法比拟的优点，从而涡旋压缩机大规模的开发和研制走上了迅速发展的
英国克劳利--(美国商业资讯)--Edwards为意大利的一家大型钢铁生产商安装了一套模块化钢脱气系统，以取代现有的一套高运行成本、高能耗蒸汽喷射器系统。这家钢铁生产商每年为汽车和动力行业生产150万吨优质钢铁，迄今已经安装了6套Edwards的机械式钢脱气模块。
根据我们测算，2019 年全球半导体真空泵的 设备与服务需求市场规模约 130 亿元，参考 IC sights 对全球晶圆产能的预测，预计到 2025 年市场规模可达到 217 亿元，复合增占率约 9%，保持温和增长，其中存量真空泵的更新占到整个设备市场的 60~70%，庞大的存 量市场保证了半导体真空泵的稳定需求，减小了行业的波动性。
