1995年，时任国防科工委主任、中国工程院院士、中国人民解放军上将丁衡高在《中国惯性技术学报》、《仪器仪表学报》等期刊上，发表题为《面向21世纪的军民两用技术——微米/纳米技术》的文章，这是最早倡导国家发展微米纳米技术的内容之一。
随着传感器技术和人工智能 的发展， 机器人集成了更为复杂的传感器系统， 包括视觉传感器、 激光雷 达、 惯性传感器和力传感器等， 能够完成更为复杂的工作任务， 应用范围从传统工业领域逐渐向生活服务领 域延伸。
创建了可扩展的高端 MEMS 器件加工平台 ，解决了系列高端 MEMS 器件加工的难题，“面向典型器件的体硅 MEMS 加工平台及其应用”于 2019 年获高 等学校科学研究优秀成果奖技术发明奖一等奖。
摘要:MEMS行业作为基于集成电路技术演化而来的新兴子行业，这几年发展迅速，如今，MEMS传感器和执行器已成为日常生活的一部分，2021年对于MEMS公司来说是不平凡的一年，这一年大多数MEMS厂商迎来了可观的增长。
MEMS振镜应用领域广泛 市场需求保持增长态势。在驱动作用下，MEMS振镜可对激光光束进行偏转、调制、开启闭合、相位控制，与传统光学扫描镜相比，MEMS振镜具有体积小、重量轻、易于批量生产、功耗低等特点。
“Moore indicated that technology has and will for the foreseeable future concentrate on smaller， not bigger. ”
热爱分享前沿科技文章，借此看清未来发展趋势，欢迎关注，共成长。为什么要了解MEMS（Micro-electro mechanical Systems，微机电系统）？因为被“卡脖子”了，还因为这个领域市场广阔，有钱赚。
目录一、 MEMS的定义 1二、 MEMS的分类 2三、 MEMS发展历程 2四、 MEMS的产业链 3五、 MEMS的应用领域及市场容量 4六、 MEMS的技术发展趋势 4七、 MEMS的应用领域 5八、 国外主要玩家 6九、 国内主要玩家 19十、 MEMS代工市场 27ME
