工信部的一份文件，将国产光刻机研发再度推入公众的视线。尽管上证指数在过去一周承压，但A股的光刻机板块上涨了近5%，成为近期表现比较亮眼的一个板块。仅9月18日当天，光刻机概念板块就上涨了5.35%，领涨A股所有概念板块。
每经记者：朱成祥 每经编辑：梁枭9月9日，工信微报微信公众号发文披露《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。其中，在电子专用设备一栏，氟化氪光刻机、氟化氩光刻机位列其中。该资料显示，氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度。
从精致小巧的智能手表，到性能强劲的超级计算机，芯片如同跳动的心脏，驱动着科技的每一次进步，它看似微不足道，却掌控着信息时代的脉搏，而在这方寸之间，蕴藏着人类智慧的结晶，也浓缩着无数科研人员的心血，而要制造出这些精密的芯片，离不开一项关键技术——光刻，如果将芯片制造比作建造一座宏伟的城市，那么光刻机就是那支精密的刻刀，在纳米级的尺度上雕琢着电路的纹理。
据广州产投、越海集成官微消息，4月16日，由广东微技术工业研究院（广东微技术研发中心有限公司，简称“广东工研院”）组织的“曝光时刻——3D异构芯片封装技术研讨会”暨国内首台大芯片先进封装专用光刻机交付入厂仪式在广州市增城区广东越海集成技术有限公司举行。
近日，一则振奋人心的消息传来，国产光刻机取得了历史性突破，套刻精度达到了惊人的≤8nm级别。但是，你别急着丧气，因为这并不代表中国最先进的水平，那如果把最近发生的事情都联系起来，你就会发现，这次更像是对美国近期加强芯片制裁手段的一种回应，真的是让美国会很破防的那一种，那更重要的是这次公布的光刻机啊，还会进一步提升我国在汽车、家电等工业品的国际竞争力，那到底是咋回事呢?
专利申请总数截至 2019 年 6 月就有 3034 项，授权的也有 1654 项。虽说和 ASML 比，在制程精度和研发时间上还有差距，人家 ASML 都能生产 5nm 及以下制程节点的 EUV 光刻机了，上海微电子目前才做到 90nm 芯片量产。
