工业和信息化部印发《首台重大技术装备推广应用指导目录》，其中特别强调了“集成电路生产装备”部分，明确列入了氟化氪光刻机与氟化氩光刻机两款关键设备，其中氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度，能够支持28纳米工艺芯片的量产。
中工网记者 姚怡梦一个仅有成年人小拇指指甲盖大小的芯片，却能在手机、汽车、农机中发挥着不可估量的作用。指甲盖大小的芯片。中工网记者姚怡梦 摄它是北斗卫星导航在地面的亲密“伙伴”，让无人驾驶更加安全、精准导航触手可及、农田播种精准无误，将远在天边的科技成果带到人们身边。
