近年来,特别是2019年以来,荷兰政府等西方国家开始加强对向中国出口高端光刻机的限制。2021年1月,荷兰政府要求ASML停止向中国出口其最新的DUV光刻机。2024年,ASML被进一步限制,不得向中国发运NXT:2000i及以上分辨率的浸润式DUV光刻机。
光刻机到目前为止,共经历了五代发展,从最早的第一代436波长,再到第二代光刻机开始使用波长 365nm i-line,第三代则是 248nm 的 KrF 激光,第四代就是 193nm 波长的 DUV 激光,这就是 ArF 准分子激光。