「放电等离子体极紫外光刻光源」由哈尔滨工业大学航太学院的赵永鹏教授（左2）研发。中国哈尔滨工业大学日前在官方新闻网宣布，「放电等离子体极紫外光刻光源」两个项目获得获黑龙江省高校和科研院所职工科技创新成果转化大赛一等奖。也就是被誉为「曝光机心脏」的极紫外（EUV）光源技术有了突破。
在科技竞争日益激烈的今天，芯片产业作为信息技术的核心，一直是各国科技角力的焦点。近日，哈工大樊继壮教授带领的研发团队成功制备出了13.5nm的EUV光源，这一技术突破不仅打破了美西方在EUV光刻机领域的垄断地位，更为国产芯片产业链的自主化进程注入了强劲动力。
