现在呢,这一淘汰美国芯片的决定,很可能意味着咱国产的EUV光刻机技术有了突破性进展. 像上海微电子在EUV光源方面有了新专利,华卓精科和长春光机所在超高精度双工件台领域也取得了大突破,长春光机所的光刻机物镜系统精度都达到32纳米了,还在继续提高呢.
国产高端EUV光刻机的最新消息,目前在外网吵得的一片火热,很多国外的博主和媒体纷纷报道了国产高端EUV光刻机的最新进度,特别是国产高端EUV光刻机所采用的“激光诱导放电等离子体”技术路线,完全摆脱了ASML的激光等离子体技术路线。