导语:2024年版《首台重大技术装备推广应用指导目录》的发布意味着国产光刻机取得了重大进展,目录中重点介绍了我国制造的氟化氪和氟化氩光刻机,而两者之间的不同使其在对标荷兰ASML厂商的EUV光刻机上并无直接联系。
##记录我的9月生活#逆风飞扬:中国芯的自立自强之路芯片禁令就像一块大石头,压在咱们科技进步的路上,压力可不小。老美联合荷兰,对中国半导体产业的围堵封锁越来越过分,前段时间更是不讲武德,直接把部分机器的维修零件和软件更新都给禁了。这分明是要掐断中国芯片的未来。这口气,我们能忍?
文 | 孙永杰日前,工信部印发的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》(以下简称“目录”)中显示,中国已攻克氟化氩光刻机,其中该目录中,公开可见的与光刻机代际水平和性能等密切相关的光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm指标引发了业内的关注。
国产高端EUV光刻机的最新消息,目前在外网吵得的一片火热,很多国外的博主和媒体纷纷报道了国产高端EUV光刻机的最新进度,特别是国产高端EUV光刻机所采用的“激光诱导放电等离子体”技术路线,完全摆脱了ASML的激光等离子体技术路线。
如果看待2021.01.17日的热搜“国产光刻机今年要下线了”,据热搜消息。上海微电子、长春光机所之后,中电科入局光刻机产业。不出意外,今年就能见到国产光刻机了。国产光刻机今年真的能下线吗?与ASML的差距有多大?如果今年真的能下线,意味着什么?