近年来,特别是2019年以来,荷兰政府等西方国家开始加强对向中国出口高端光刻机的限制。2021年1月,荷兰政府要求ASML停止向中国出口其最新的DUV光刻机。2024年,ASML被进一步限制,不得向中国发运NXT:2000i及以上分辨率的浸润式DUV光刻机。
而历史却是个“老司机”,会在不经意间急转弯,冲上“秋名山”。而贯彻这一策略的“光刻机科技”便又一次在历史上给中国“上了一课”:以下来自文献记载:1977年研制成功的GK-3型半自动光刻机,这类设备通过物理接触掩模与晶圆完成曝光,虽能实现微米级精度,但存在掩模易损耗、良率低等问题。
从精致小巧的智能手表,到性能强劲的超级计算机,芯片如同跳动的心脏,驱动着科技的每一次进步,它看似微不足道,却掌控着信息时代的脉搏,而在这方寸之间,蕴藏着人类智慧的结晶,也浓缩着无数科研人员的心血,而要制造出这些精密的芯片,离不开一项关键技术——光刻,如果将芯片制造比作建造一座宏伟的城市,那么光刻机就是那支精密的刻刀,在纳米级的尺度上雕琢着电路的纹理。