8月13日消息,日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术,可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来的10个减少到4个。以EUV光源为中心,整体耗电量可减至原来的约十分之一。
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