【南大光电:三款ArF光刻胶有少量销售】财联社6月18日电,南大光电在互动平台表示,目前通过验证的三款ArF光刻胶有少量销售,质量稳定。具体量产进度需根据客户订单情况确定。公司正加速推进产品验证和市场拓展工作,争取早日实现量产。
在光刻胶领域,目前国产替代竞争力最强的上市公司主要集中在突破 KrF 和 ArF 两大技术节点的企业。核心进展:国内唯一实现 ArF光刻胶 技术突破的厂商,覆盖 干式 和 浸没式 两类,可用于28-14nm先进逻辑芯片制造。