光刻机所采用的光源主要为波长 248nm 的 KrF 光源、波长 193nm 的 ArF光源和波长 13.5nm 的 EUV 光源，业内主要供应商为美国 Cymer，并由光刻机巨头 ASML 于 2012 年以 25 亿美元收购。
总部位于新加坡的Compart公司是全球领先的半导体设备所需的零部件供应商，也是全球极少数可完成流量控制领域零组件精密加工全部环节的公司之一，产品主要包括气体输送零部件、组件、密封件、气棒总成、质量流量控制器等，是集成电路行业中高端MFC组件的领先者，自收购完成后公司由一家外资企业转变为中资控股企业，相关产品已打入国内半导体设备公司供应链，营收增速也持续向上。
