中国日报11月10日电(记者 赵磊)化学机械抛光(CMP)设备是芯片制造的七大关键设备之一,因其高精度、高密集的技术要求,长期以来,我国集成电路装备难以实现自主创新。中央领导同志明确指出,关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的。
7月22日,小鹏汽车在港交所发布公告,继2024年4月17日与大众汽车集团签订电子电气架构技术战略合作框架协议后,公司再与大众签订电子电气架构技术战略合作联合开发协议,双方将全力投入为大众在华生产的CMP和MEB平台开发行业领先的电子电气架构,首款搭载车型预计将在约24个月内量产。
中国日报11月10日电(记者 赵磊)走进客户的生产车间,一排排带有烁科装备logo的化学机械抛光(CMP)设备整齐排列,纵横有序,在机器轰鸣声中一片片中国芯应运而生……化学机械抛光(CMP)设备是集成电路制造七大关键设备之一,用于平坦化工艺及铜互联工艺。
按照 SEMI 统计的 2018 年-2020 年中国大陆地区 CMP 设备市场规模和公司 2018 年度-2020 年度 CMP 设备销售收入计算,2018 年-2020年华海清科在中国大陆地区的 CMP 设备市场占有率约为 1.05%、6.12%和 12.64%。
CMP:半导体抛光材料,芯片平坦度必经之路 。与此前普遍使用的机械抛光相比,化学机械抛光能使硅片表面变得更加平坦,并且还具有加工成本低及加工方法简单的优势,因而成为目前最为普遍的半导体材料表面平整技术。