最近几年，传感器产业的投融资市场热了起来，而许多传感器上市企业，如歌尔股份、瑞声科技、敏芯微、纳芯微、芯动联科、高华科技等等都是MEMS传感器企业，MEMS智能传感器也是国家政策扶持、资金流入的首要传感器领域。
MEMS传感器即微机电系统，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。
M. Despont， J. Brugger， U. Drechsler， U. Dürig， W. Häberle， M. Lutwyche， H. Rothuizen， R. Stutz， R. Widmer， G. Binnig， H. Rohrer， P. Vettiger， VLSI-NEMS chip for AFM data storage， Technical Digest 12th IEEE Int. Micro Electro Mechanical Systems Conf. MEMS '99， Orlando， FL， January 1999， IEEE， Piscataway， 1999， pp. 564–569.
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如同智能驾驶需要感知-决策-执行三部曲，人形机器人也需要这样的流程:通过传感器感知关键状态，经过微处理器、计算机或神经网络处理分析后，交由机械臂、双足或轮子等移动装置或加热/制冷设备等非移动装置执行相关工作。
目录一、 MEMS的定义 1二、 MEMS的分类 2三、 MEMS发展历程 2四、 MEMS的产业链 3五、 MEMS的应用领域及市场容量 4六、 MEMS的技术发展趋势 4七、 MEMS的应用领域 5八、 国外主要玩家 6九、 国内主要玩家 19十、 MEMS代工市场 27ME
