中新社北京6月27日电 记者27日从中国电子科技集团有限公司获悉，作为芯片制造的核心关键装备，由该集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机，已成功实现百万电子伏特高能离子加速，其性能达国际主流先进水平。
来源：科技日报科技日报北京3月17日电（孙友芳 王雪姣 记者付毅飞）记者17日从中国电科获悉，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。 离子注入机是芯片制造中的关键装备。
红网时刻新闻7月14日讯7月14日上午，中国电子科技集团公司第48研究所研发生产的第100台国产离子注入机发车运往客户，标志着国内首家离子注入机自研量产企业的诞生，也代表国产离子注入机已成功通过产业化考验。
由于缺乏制造高端芯片所需的设备、材料和技术，以至于外界对此都不怎么看好，尤其是台积电张忠谋，甚至泼来冷水:大陆应该专注芯片设计，代工市场有台积电就够了，全球没有任何一个国家或者单个企业能够拥有完善的产业链，且还能在市场上保持着竞争力。
2023年9月15日，青岛四方思锐智能技术有限公司成功推出的国内首台能量达到8MeV的高能离子注入机交付到国内头部企业，而这也意味着国产集成电路核心制造装备实现了重大突破，不仅填补了国内空白，也打破了西方国家的技术封锁，开启了国产高能离子注入机的自主可控的新征程。
【晒晒咱的国之重器41】光明日报记者 崔兴毅穿过制造中心入口的风淋系统，整条产线映入眼帘，一台台设备完成装配调试后，输送至各集成电路先进产线，参与“中国芯”制造。这是什么高精尖设备？“它们可是‘中国芯’制造的关键一环！
2023年5月，习近平总书记在中国电科产业基础研究院考察调研时指出，加快建设科技强国是全面建设社会主义现代化国家、全面推进中华民族伟大复兴的战略支撑，必须瞄准国家战略需求，系统布局关键创新资源，发挥产学研深度融合优势，不断在关键核心技术上取得新突破。
