国内刻蚀设备厂商中:北方华创的第一台 8 英寸 ICP 刻蚀机于2005年在客户端上线,其12 英寸刻蚀机已在客户端实现国产替代,截止2020 年 12 月,北方华创 ICP刻蚀机交付突破 1000 腔,标志着国产刻蚀机得到客户广泛认可;
IT之家 7 月 18 日消息,近日,北方华创科技集团股份有限公司正式发布应用于晶边刻蚀工艺的 12 英寸等离子体刻蚀机 Accura BE,号称实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破,为我国先进芯片制造量身打造良率提升高效解决方案。