上海积塔半导体使用的设备

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从上海积塔半导体设备采购，看特色工艺产线设备国产化进程
其中，国产设备27 台，按数量计算的国产化率仅为 14%，进口品牌主要包括 ASML、AMAT、Lam Research、KLA、TEL、ASM International、Axcelis，占比高达86%。
芯智讯
国内十大晶圆厂设备招标结果解析：上海积塔设备国产化率最高
2022 年 4 月国内 10 家主流晶圆厂共开标 108台工艺设备，前四个月合计开标 401 台工艺设备。炉管、刻蚀设备贡献 2022 年 4 月主要扩产增量。
芯智讯
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积塔半导体特色工艺生产线项目在临港新片区正式投产
澎湃新闻日前获悉，6月30日，上海积塔半导体有限公司位于上海自贸区临港新片区的特色工艺生产线项目正式投产，这标志着积塔半导体临港新厂由工程建设期正式迈入生产运营期。
澎湃新闻
【中标】万业企业旗下嘉芯迦能中标上海积塔项目3台薄膜沉积设备
集微网消息，2月28日，上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目公布三项中标结果。此前，嘉善官方消息显示，万业企业旗下嘉芯半导体项目正进行二次结构施工，预计3月底前完成土建工程施工并转入室内装修和设备安装阶段，年底竣工投产。
集微网
积塔半导体特色工艺生产线在沪投片
昨天，位于临港新片区的积塔半导体特色工艺生产线正式投片。目前，企业内部有近500人、现场施工单位1000人到岗，复工率超过99%。
新民网
中微公司全资子公司南昌中微中标上海积塔钝化层等离子刻蚀机设备
2022年06月21日南昌中微半导体设备有限公司中标上海积塔钝化层等离子刻蚀机设备。上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目中标结果公告。
电力招标平台
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从主流晶圆厂Q2招中标数据，看国产设备厂商的突破
集微网消息，近年来，受芯片供应短缺以及通讯、汽车电子等产业强劲需求的推动，国内晶圆厂纷纷选择扩产，导致设备需求量攀升，国内设备厂商有望迎来更多机遇。
集微网
中企正式官宣，6台光刻机到货，外媒：ASML果然加速了
在美国对华半导体制裁背景下，美日荷签订了在半导体方面签订了三方协议，目标是限制荷兰的ASML向中国出售，但是荷兰ASML公司还是向中国出售了多台DUV光刻机，包括中标的6台光刻机，这算是ASML对出口管制的无声反击吗?
关权教授
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