首先仿真了两种失效模式下线性扫频声波对陀螺仪输出 信号的干扰，发现陀螺仪的频率响应特性存在双谐振峰。然后对型号为 MUG02 的双质量块 MEMS 陀螺仪进行了声 波干扰实验，首次观察到双谐振峰现象，即分别在 5.90 kHz 和 6.17 kHz 处产生了 4.65kHZ/s 和 15.90kHZ/ s 的伪角速度信 号，实验结果验证了失效模型的正确性。
目录一、 MEMS的定义 1二、 MEMS的分类 2三、 MEMS发展历程 2四、 MEMS的产业链 3五、 MEMS的应用领域及市场容量 4六、 MEMS的技术发展趋势 4七、 MEMS的应用领域 5八、 国外主要玩家 6九、 国内主要玩家 19十、 MEMS代工市场 27ME
公司成立于2012年，基于半导体的行业积累，独创的微纳结构设计，采纳先进的MEMS工艺，特有的封装方案以及现代化的管理模式和完善的人才积累，融合集成电路与传统高端惯性行业，促进惯性传感器、压力传感器等传感器向智能化、微型化、易用化、本土化、IC化发展。
MEMS惯性传感器是MEMS传感器重要种类之一，在消费电子、汽车电子甚至航空航天等诸多领域，均有重要作用。本文来自头豹研究院于3月20日发布的MEMS惯性传感器系列报告，是最新的中国MEMS惯性传感器行业观察内容。
据了解，该公司的执行团队在传感器设计有数十年的经验，他们曾在 Google Wing 航空电子设备、Google Quantum、Tesla Model 3、美国海军研究实验室和 Lumedyne等地方工作过。
