来源：科技日报科技日报北京3月17日电（孙友芳 王雪姣 记者付毅飞）记者17日从中国电科获悉，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。 离子注入机是芯片制造中的关键装备。
新华社北京6月29日电 记者6月29日从中国电子科技集团有限公司获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（简称电科装备）已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。研发人员正在调试离子注入机离子注入机是芯片制造中的关键装备。
中新社北京6月27日电 (记者 孙自法)记者27日从中国电子科技集团有限公司(中国电科)获悉，作为芯片制造的核心关键装备，由该集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机，已成功实现百万电子伏特高能离子加速，其性能达国际主流先进水平。
电科装备北京烁科中科信公司卯足干劲，离子注入机设备生产制造产线高速运转、火力全开，再次打破月度交付记录，接连交付8台高品质设备。截至今年5月底，离子注入机交付总台数同比增长175%，生产制造能力再上新台阶。
【晒晒咱的国之重器41】光明日报记者 崔兴毅穿过制造中心入口的风淋系统，整条产线映入眼帘，一台台设备完成装配调试后，输送至各集成电路先进产线，参与“中国芯”制造。这是什么高精尖设备？“它们可是‘中国芯’制造的关键一环！
中国日报6月29日电（记者 赵磊）近日，中国电子科技集团有限公司旗下中电科电子装备集团有限公司自主研发的国产离子注入机设备成功实现离子注入28nm工艺制程全覆盖。目前，电科装备已具备为芯片制造企业提供一站式解决方案的能力，全力支撑产业链供应链韧性和安全水平。
点击蓝字“中国电科”，关注CETC品牌微刊新春伊始，中国电科全系统以“起步即冲刺”的奋进姿态，深化“一巩固三做强”业务布局，抓好“七大重点任务”。预则立，立则行，行则达，各单位重点项目团队立下一个个新年“小目标”，奋力起步，干劲十足！
