美国彭博社8月29日爆料,荷兰政府将限制ASML(阿斯麦)为中国客户提供售后维修服务。阿斯麦身为世界上最大的半导体设备制造商之一,许多制造芯片的国家都需要依靠阿斯麦去完成,中国的光刻机也极为依赖阿斯麦。
如下图所示,这是光刻机类型,对应的芯片工艺。至于5nm芯片之后,那就必须使用EUV这种极紫外线光刻机了,用DUV光刻机已经制造不出来了,因为DUV光刻机的光线波长经水折射也也毕竟有134nm,波长太长,分辨率不够。