青翼工业软件今年一场新品发布会，预估两百家客户参会，结果当天到场五百余家。硬核制造如此热切地拥抱国产软件，让青翼CEO王文华很意外。羚数智能创始人郭文蔚也有同感。他的制造业客户中，尤以创立20至70年的企业为多。但恰是这批“老树”，最敢于把制造中核心环节托付给人工智能。
每经AI快讯，兴业证券研报表示，光刻工艺是集成电路制造的关键步骤，光刻机是半导体工业皇冠上的明珠。全球晶圆厂设备开支保持强劲，光刻机需求持续提升。光刻机作为芯片制造光刻环节的核心设备，目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能垄断，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义。
人民财讯3月10日电，中信证券指出，国内对于光刻机产业链的投资和支持力度持续加大，国产高端光刻机的发展有望获得推动，半导体设备产业链将有望同步受益。未来若DUV及EUV设备逐步实现国产化突破，国内先进制程产线有能力逐步实现国产替代，有望迎来新一轮的半导体扩产周期。
每经记者：朱成祥 每经编辑：梁枭9月9日，工信微报微信公众号发文披露《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。其中，在电子专用设备一栏，氟化氪光刻机、氟化氩光刻机位列其中。该资料显示，氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度。
