据中国新闻网12月1日报道,中国研制成功了世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备!据报道,该超分辨光刻装备项目29日已通过国家验收。而这台分辨力最高的紫外(即22纳米@365纳米)超分辨光刻装备,还形成了一条全新的纳米光刻工艺线路,并具备完全自主知识产权。