工信部的一份文件，将国产光刻机研发再度推入公众的视线。尽管上证指数在过去一周承压，但A股的光刻机板块上涨了近5%，成为近期表现比较亮眼的一个板块。仅9月18日当天，光刻机概念板块就上涨了5.35%，领涨A股所有概念板块。
每经记者：朱成祥 每经编辑：梁枭9月9日，工信微报微信公众号发文披露《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。其中，在电子专用设备一栏，氟化氪光刻机、氟化氩光刻机位列其中。该资料显示，氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度。
开源证券近日发布机械设备行业周报：科技自立打头阵，重视光刻机产业链国产化机遇。 以下为研究报告摘要： 光刻机：推动芯片晶体管尺寸微细化发展的核心设备光刻是芯片制造流程中极为重要、难度极高的关键步骤。光刻的过程就是光透过掩膜版成像在晶圆表面的光刻胶上，一片晶圆可曝光多达百个单元。
