值得注意的是，华卓精科以超精密测控技术为基础，研究、开发以及生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务，其中报告期内的超精密测控设备部件产品包括精密运动系统、静电卡盘和隔振器等，整机产品包括晶圆级键合设备、激光退火设备等。
更新后的上会稿也显示，截至2021年6月30日，华卓精科与清华大学作为共同专利权人拥有的专利共 计 162 项，其中协议转让方式获取的专利 115 项、委托开发方式获取的专利 30 项、合作研发方式获取的专利 17 项，清华大学授权公司独占实施许可的专利 1 项。
“作为上海微电子光刻机双工件台的供应商，公司与上海微电 子长期保持良好的合作关系，共同进行 IC 前道光刻机核心技术的研发和 IC 前道光刻机产品的生产，为国产光刻机崛起奠定了基础，占据了中国商用光刻机双工件台的主要市场份额。
记者 | 曹立编辑 | 陈菲遐光刻机核心零部件供应商华卓精科递交了科创板上市材料，如果成功上市，公司将成为A股真正的光刻机第一股。从863到02专项2017至2019年，华卓精科分别实现营收5410万元、8570万元以及1.
