华特气体3月28日在投资者互动平台表示,光刻气体在电子气体市场占比不大,覆盖了长江存储、中芯国际、华润微电子等知名半导体客户,公司自主研发生产的4款光刻气体是中国唯一一家同时获得荷兰ASML和日本GIGAPHOTON认证的气体公司。
换一个角度,在半导体制造上游原材料的结构中,电子气体也是仅次于大硅片的第二大市场需求材料,约占到所有半导体材料的14%,不同光刻胶、CMP抛光材料等只在半导体制造的某一个或两个环节使用的原材料,电⼦特⽓⼏乎覆盖半导体制造的所有⼯艺环节,在 IC 生产环节中,使用的电子气体有差不多有 100 多种, 核心工段常见的在 40-50 种左右。
2月2日午间,凯美特气公告宣布,其子公司收到全球光刻机龙头ASML子公司的供应商认证函,将公司光刻气产品列入合格供应商名单。午后,这一消息瞬间令凯美特气股价拉升涨停,而同行华特气体股价也在午后出现一定拉涨,一度涨逾3%。
“公司已成功的实现了对国内12寸集成电路制造厂商超过85%的客户覆盖率,有超过15个产品已经批量供应14纳米先进工艺,超过10个产品供应到7纳米先进工艺,2个产品进入到5纳米先进工艺制程中应用,并不断扩大覆盖范围。在集成电路、显示面板等半导体领域,公司取得了较高的市场认可度。
“光刻气系公司的拳头产品,公司自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4种光刻气是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司,已经销售产生订单。同时,在2023年实现海外光刻气销售的历史性突破。
凯美特气2月2日公告,控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司于2023年2月2日收到ASML子公司Cymer公司发来的合格供应商认证函,凯美特电子特种气体公司生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查,Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。