新华社北京6月29日电 记者6月29日从中国电子科技集团有限公司获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（简称电科装备）已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。研发人员正在调试离子注入机离子注入机是芯片制造中的关键装备。
