3月26日-27日，深圳新凯来工业机器有限公司在SEMICON China 2025上发布了5款工艺设备新品，包括外延沉积设备EPI、原子层沉积设备ALD、物理气相沉积设备PVD、刻蚀设备ETCH、薄膜沉积设备CVD。
近日，深圳新凯来工业机器有限公司在其官微宣布，将在3月底参加中国国际半导体展。天眼查显示，新凯来工业机器背后大股东是新凯来技术有限公司，而新凯来技术的间接大股东是深圳市重大产业投资集团，其董事长戴军亦是国家大基金二期的监事，也是中芯国际集成电路制造有限公司的董事。
