193nm指的是极紫外线的波长,波长指的是最近两个波峰之间距离为193nm纳米,要想把这个极紫外线光波描述清楚还有波峰、波谷,还有每秒30万公里的光速。14纳米是指半导体芯片上面的线宽,半导体芯片上面肯定要划线吧!