你现在正在看文章的手机里,有一个最核心部件,名字叫芯片,他是整个手机的灵魂,大小只有几十平方毫米,也就是长和宽都在1厘米以内,你别小看这个小小的芯片,指甲盖大小的手机芯片上就需要集成10亿个晶体管,相当于在一个米粒大小的地方写下2000万个字符,芯片用巧夺天工来形容真的一点都不过分,一个小小的芯片,可以称得上是人类整体智慧的结晶。
光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备。光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上。